TLP测试-转自电浪David

TLP（Transmission Line Pulse）测试又称为传输线脉冲测试，是对静电防护半导体器件进行描述的一种常用方法。1985年由Maloney等人就提出的ESD模拟方法，与传统的HBM、MM、CDM、IEC模型不同，传输线脉冲发生器发出的是静电模拟方波，而传统模式发出的则是RC-LC模式的脉冲波形。

对于其他（CDM、HBM、MM等）的静电模型，在相同损伤能量下，TLP与各种静电模型均有近似的等效关系，同时考虑到上升沿的触发效应，因此，一般会使用相近的脉宽和上升沿进行等效，通过进一步的影响评估，即可确认合适的不同模型静电等效方波，通过方波测出上述曲线，即可用于该静电模型下的ESD防护设计仿真，利用测试波形结果中的开启-关断特性，即可知道器件在相应模型下的响应情况。而对于IEC、火花放电等两/三阶段模型则需要通过分阶段（如超快阶段和普通阶段）进行测试分析。

TLP的特点

不模拟真实静电放电。

记录被测的故障等级和特性。

Characterization/表征测试。

换言之，TLP设备可模拟各种形式的ESD脉冲，在静电损伤和上升沿触发两方面都可以提供近似的模拟，因此，也可以认为两者是一致的。而在这种近似认同下，则TLP可以提供ESD过程中的IV、IT、VT三种不同的关键曲线，而这种曲线是其它模型所不能提供的。

需要注意的是：TLP脉冲式方波，与真实情况有一定的出入，虽然可以近似模拟，但总是会有一定的差别，完全采信TLP结果，可能会导致考核值与其它厂家的设备有一定的差异，更有甚者，由于芯片的电荷存储效应，不同厂家的ESD测试设备之间测试结果也有一定的差异。此外，TLP系统是超快脉冲，轻微的寄生即可导致波形畸变，多通道的TLP系统在实现上难度较大，因此，替换常规ESD测试设备的可行性较弱。

具体的测试步骤可以参考以下说明：

使用TLP pulser发出脉冲，使用示波器和对应的探头、试线缆、衰减器等测试DUT端对应的电压电流，描绘响应的曲线。TLP Pulser打出指定电压V1的脉冲，示波器记录下电流I1。

将测试线缆切换到SMU上测试DUT对应的漏电流。利用IFIM（Force I Measure I）功能，Force电流I1，测量得到Leakage1。

重复上述步骤，描绘对应的曲线，直至得到漏电流偏折点。